第三代半导体研磨抛光解决方案

针对第三代半导体材料,以碳化硅和氮化镓为代表,可提供硅锭 - 切割(电镀带锯)-圆柱/平面研磨硅棒 - 硅锭(金刚石线)研磨(双面轮/抛光垫)-边缘研磨 - 表面研磨 - 抛光 - 晶片- 背面减薄(陶瓷/树脂轮)- 切割(切割刀片)等全套产品和整体解决方案。