第三代半导体研磨抛光解决方案

加工精度可达IT5~IT1,表面粗糙度可达Ra0.63~0.01微米。

针对第三代半导体材料,以碳化硅和氮化镓为代表,可提供硅锭 - 切割(电镀带锯)-圆柱/平面研磨硅棒 - 硅锭(金刚石线)研磨(双面轮/抛光垫)-边缘研磨 - 表面研磨 - 抛光 - 晶片- 背面减薄(陶瓷/树脂轮)- 切割(切割刀片)等全套产品和整体解决方案。

生产工艺

36255

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