加工精度可达IT5~IT1,表面粗糙度可达Ra0.63~0.01微米。
针对第三代半导体材料,以碳化硅和氮化镓为代表,可提供硅锭 - 切割(电镀带锯)-圆柱/平面研磨硅棒 - 硅锭(金刚石线)研磨(双面轮/抛光垫)-边缘研磨 - 表面研磨 - 抛光 - 晶片- 背面减薄(陶瓷/树脂轮)- 切割(切割刀片)等全套产品和整体解决方案。
JL-PB-2M 数控磨抛边机
JL-P1140 3D曲面抛光机
JL-P500-P3-2M连续式抛光工作站
JL-P420-6P 3D曲面抛光机
JL-P5-20M 数控全方位自动打磨抛光机
JL-P3-12M-QD 数控全方位自动打磨抛光机(气动磨头)
JL-CMP56 超精密半导体智能研磨抛光机
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